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无尘室分类
无尘室依等级的不同而在气流设计上会有所区別,一般可分为垂直层流方式(Class 1~100)、水平层流方式(Class 1~1,000)、乱流方式(Class 1,000~100,000),其详细区分如下表:
Fed-Std-209
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