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	产品与技术         无尘室定义         无尘室是一个为了对空间內空气中的微粒做控制，所建造的特殊封闭性建筑。一般而言，无尘室也会对温湿度、气流运动模式、与震动噪音等环境因素做控制。       无尘室依等级的不同，对一定空空內的微尘粒子最大容许量亦有一定规范，在国际标准中最常用的规范有Fed-Std-209E及ISO-14644，以下表格为Fed-Std-209E及ISO-14644的等级定义。   Fed-Std-209E洁净度定义          >>下一页

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