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| ISO-14644洁净度定义 | ||||
| ISO的等级划分，首先定义了微粒的粒径是从0.1mm到5mm，在此范围之外就不列入等级表，但是另定义有超微粒子与超大粒子针对范围外粒子。ISO 等级本身归类为 ISO Class 1 到 ISO Class 9，其允许上限的定义是大于等于该粒径的微粒数，数目字如下表，单位是每立方公尺的微粒数。 | ||||
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| 比较以上两表我们可看出： ⒈209E的公制和英制两套标准，虽然有公式做互换，但是仍究很难一眼看出其相关性。两制放同一表，徒然造成混淆。 ⒉在两表中0.5μm几乎出現在每一个等级定义中，表示粒径0.5μm的粒子非常具有代表性。 ⒊在洁净度的分类上，不管是在高洁净度，或是低洁净度，ISO-14644的范围比209E都来的广，因此具有未来性。 |
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